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本实用新型公开了一种节能高效的单晶硅片烘干装置，包括装置本体和单晶硅存放柜，所述装置本体的内部设置有烘干仓。本实用新型中，该装置烘干仓的内部设置了抽拉式烘干箱，在对单晶硅片进行烘干时，将抽拉式烘干箱通过烘干仓内壁开设的滑轨与滑动轮的相互配合...
该专利属于刘科所有，仅供学习研究参考，未经过刘科授权不得商用。

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