一种节能高效的单晶硅片烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种节能高效的单晶硅片烘干装置，包括装置本体和单晶硅存放柜，所述装置本体的内部设置有烘干仓。本实用新型专利技术中，该装置烘干仓的内部设置了抽拉式烘干箱，在对单晶硅片进行烘干时，将抽拉式烘干箱通过烘干仓内壁开设的滑轨与滑动轮的相互配合，实现抽拉式烘干箱的抽拉滑动，并将需要烘干的单晶硅片放置在单晶硅放置架上，进行烘干作业，抽拉式烘干箱采用了独立式结构，可以在单晶硅片放置或拿取抽拉时，不会影响其它抽拉式烘干箱的烘干作业，最小程度的避免的烘干仓内的热量流失，从而减少能源的消耗，并且烘干箱采用抽拉式结构配合液压伸缩杆，可以方便对单晶硅片进行安放和拿取。

An energy-saving and efficient drying device for monocrystalline silicon wafers

【技术实现步骤摘要】
一种节能高效的单晶硅片烘干装置
本技术涉及单晶硅
，尤其涉及一种节能高效的单晶硅片烘干装置。
技术介绍
硅的单晶体。具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用于制造半导体器件、太阳能电池、芯片等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。是人类已得到最纯的物质。目前单晶硅加工烘干装置，在对单晶硅片进行烘干作业时，烘干的工作效率较低，且不便于单晶硅片烘干时的放置和拿取，而且传统的烘干装置多为一体式结构，工作人员在拿取时，不但容易造成烘干装置内部热量的流失，同时也容易因烘干仓内温度过高对工作人员造成烫伤。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种节能高效的单晶硅片烘干装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种节能高效的单晶硅片烘干装置，包括装置本体和单晶硅存放柜，所述装置本体的内部设置有烘干仓，且烘干仓的内壁开设有滑轨，所述滑轨的一侧通过滑动轮滑动连接有抽拉式烘干箱，且抽拉本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种节能高效的单晶硅片烘干装置，包括装置本体(1)和单晶硅存放柜(11)，其特征在于，所述装置本体(1)的内部设置有烘干仓(2)，且烘干仓(2)的内壁开设有滑轨(3)，所述滑轨(3)的一侧通过滑动轮(14)滑动连接有抽拉式烘干箱(4)，且抽拉式烘干箱(4)的内部设置有单晶硅放置架(5)，所述烘干仓(2)内部一侧螺栓固定有液压伸缩杆(15)。/n

【技术特征摘要】
1.一种节能高效的单晶硅片烘干装置，包括装置本体(1)和单晶硅存放柜(11)，其特征在于，所述装置本体(1)的内部设置有烘干仓(2)，且烘干仓(2)的内壁开设有滑轨(3)，所述滑轨(3)的一侧通过滑动轮(14)滑动连接有抽拉式烘干箱(4)，且抽拉式烘干箱(4)的内部设置有单晶硅放置架(5)，所述烘干仓(2)内部一侧螺栓固定有液压伸缩杆(15)。


2.根据权利要求1所述的一种节能高效的单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述装置本体(1)的内部位于烘干仓(2)的下方设置有加热仓(9)，且加热仓(9)的内部设置有加热管(10)，所述加热仓(9)的一侧螺纹连接有吸风机(8)，且吸风机(8)的顶部螺纹连接有导气管(7)，所述导气管(7)的顶端开设有出风口(6)。


3.根据权利要求1所述的一种节能高效的单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述装置本体(1)的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘科，
申请(专利权)人：刘科，
类型：新型
国别省市：宁夏;64