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本实用新型公开了一种薄膜制备设备，包括：将注入反应液进行化学沉积反应的反应槽(10)；设置在反应槽(10)外部的循环装置(20)，循环装置(20)的一端与反应槽(10)底部连通，另一端与反应槽(10)上部连通，循环装置(20)将经反应槽(1...
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