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本实用新型提供一种蒸镀装置，包括蒸镀源、至少三段加热部、至少三个温度监测单元、坩埚和驱动轴。蒸镀源随着驱动器包绕在坩埚外部匀速转动，对坩埚周围进行加热，控制器根据温度监测单元反馈的温度信号控制各温度监测单元所对应的控制单元，以调整该控制单元...该专利属于宁波卢米蓝新材料有限公司;宁波激智创新材料研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波卢米蓝新材料有限公司;宁波激智创新材料研究院有限公司授权不得商用。