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一种输送带传动机构。为提供一种避免润滑液渗入制程反应室、防止污染基板制程环境、确保制程溶液浓度的半导体制造设备部件，提出本发明，它系用于传动将玻璃基板输送至制程反应室的输送带；其包括传动轴、齿轮组、设置于齿轮组外的第一润滑槽及设置于第一润滑...
该专利属于友达光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。

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