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本发明提供了一种反射棱镜装置及用于固定反射棱镜的方法,反射棱镜装置包括:棱镜本体,所述棱镜本体的两侧面均设有一凸台;棱镜固定座,包括棱镜背面固定平面和棱镜侧边固定组件,所述棱镜背面固定平面与棱镜本体背面粘贴固定,所述棱镜侧边固定组件设置在所...该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种反射棱镜装置及用于固定反射棱镜的方法,反射棱镜装置包括:棱镜本体,所述棱镜本体的两侧面均设有一凸台;棱镜固定座,包括棱镜背面固定平面和棱镜侧边固定组件,所述棱镜背面固定平面与棱镜本体背面粘贴固定,所述棱镜侧边固定组件设置在所...