一种反射棱镜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种反射棱镜装置及用于固定反射棱镜的方法，反射棱镜装置包括：棱镜本体，所述棱镜本体的两侧面均设有一凸台；棱镜固定座，包括棱镜背面固定平面和棱镜侧边固定组件，所述棱镜背面固定平面与棱镜本体背面粘贴固定，所述棱镜侧边固定组件设置在所述棱镜背面固定平面的两侧并用于将所述凸台固定在所述棱镜固定座上；其中所述棱镜侧边固定组件包括用于承载凸台的台阶和凸台压紧件，所述凸台压紧件用于将所述凸台压紧固定在所述台阶上。本发明专利技术的反射棱镜装置在重力方向由簧片的变形来吸收反射棱镜变形产生的力，在水平方向采用胶结来吸收反射棱镜膨胀或收缩时产生的应力，从而实现反射棱镜的无应力固定，有效控制了棱镜面型。

A reflecting prism device

【技术实现步骤摘要】
一种反射棱镜装置
本专利技术涉及光学仪器领域，尤其涉及一种反射棱镜装置。
技术介绍
高精度光学镜头的设计与制造是一个十分复杂的过程，由于对光学系统成像质量要求越来越高，光学元件越来越多，光路也变得越来越复杂，而且要求光学元件有微米级的定位精度，同时还需要保持十纳米级的面型精度。在折反光学系统中，由于光线偏转误差是反射面偏转的两倍，反射棱镜往往需要更高的定位精度和面型精度要求(十纳米级面型精度)，这就要求固定结构对反射棱镜的面型影响非常小，现有的高精度棱镜固定方式多是直接采用棱镜粘接到高精度机械面的方法，但当棱镜尺寸和重量较大(重量大于0.5kg)时，以这种方式固定的棱镜在冲击、振动、温度变化等作用下，反射棱镜面型将发生较大变化，甚至发生棱镜脱落的现象；若采用直接在工作面夹持的方法往往只能得到亚微米级，甚至微米级的面型精度。因此，需要一种能够满足大尺寸反射棱镜的无应力固定要求的反射棱镜装置。需要说明的是，公开于该专利技术
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本专利技术的一般
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种反射棱镜装置，其特征在于，包括：/n棱镜本体，所述棱镜本体的两侧面均设有一凸台；/n棱镜固定座，包括棱镜背面固定平面和棱镜侧边固定组件，所述棱镜背面固定平面与棱镜本体背面粘贴固定，所述棱镜侧边固定组件设置在所述棱镜背面固定平面的两侧并用于将所述凸台固定在所述棱镜固定座上；/n其中所述棱镜侧边固定组件包括用于承载凸台的台阶和凸台压紧件，所述凸台压紧件用于将所述凸台压紧固定在所述台阶上；所述凸台垂直于所述棱镜本体背面。/n

【技术特征摘要】
1.一种反射棱镜装置，其特征在于，包括：
棱镜本体，所述棱镜本体的两侧面均设有一凸台；
棱镜固定座，包括棱镜背面固定平面和棱镜侧边固定组件，所述棱镜背面固定平面与棱镜本体背面粘贴固定，所述棱镜侧边固定组件设置在所述棱镜背面固定平面的两侧并用于将所述凸台固定在所述棱镜固定座上；
其中所述棱镜侧边固定组件包括用于承载凸台的台阶和凸台压紧件，所述凸台压紧件用于将所述凸台压紧固定在所述台阶上；所述凸台垂直于所述棱镜本体背面。


2.如权利要求1所述的反射棱镜装置，其特征在于，所述凸台的形状为长条形。


3.如权利要求2所述的反射棱镜装置，其特征在于，所述用于承载凸台的台阶的形状与所述凸台相匹配。


4.如权利要求1所述的反射棱镜装置，其特征在于，所述棱镜背面固定平面设置有硬点平面，通过所述硬点平面与所述棱镜本体背面接触定位。


5.如权利要求4所述的反射棱镜装置，其特征在于，所述棱镜本体背面通过点胶固定的方式固定至所述棱镜背面固定平面。


6.如权利要求4所述的反射棱镜装置，其特征在于，所述硬点平面的数量为三个...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜苏伦，汪明天，刘国淦，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31