下载半导体器件的技术资料

文档序号:22906272

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本实用新型提供一种半导体器件,半导体器件的有源区包括依次层叠设置的阱层和掺杂层,还包括开设于掺杂层且内含栅绝缘层和栅电极的栅极沟槽;掺杂层包括多个第一掺杂区和至少一个第二掺杂区,第二掺杂区为重掺杂区;栅极沟槽位于相邻两个第一掺杂区之间,且第...
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