温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种真空转动副及可柔性伸展的刚性的真空传递管路，属于机械设备制造领域。通过采用真空转动副的旋转运动，替代柔性真空管的弯曲运动，辅助以多段刚性真空管，实现真空管路的伸缩，跟随吸盘运动，同时传递真空。具有对平台运动精度的干扰较小...
该专利属于无锡影速半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡影速半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。