一种真空转动副及可柔性伸展的刚性的真空传递管路制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空转动副及可柔性伸展的刚性的真空传递管路，属于机械设备制造领域。通过采用真空转动副的旋转运动，替代柔性真空管的弯曲运动，辅助以多段刚性真空管，实现真空管路的伸缩，跟随吸盘运动，同时传递真空。具有对平台运动精度的干扰较小且使用寿命较柔性真空管长；刚性真空管在传递真空过程中，不会因管内部负压而形变，避免了因管道胀缩而导致的阻碍平台运动的力，破损泄漏风险也同时降低；采用多级真空转动副和刚性真空管的组合，可实现多自由度运动。进一步的，应用中可实现被动拖动，无需额外驱动体统，也无需电子控制等复杂手段，结构简单且成本较低；还可应用于机械设备中利用真空吸附抓取物质的抓取手臂中。

A kind of vacuum rotating pair and flexible rigid vacuum transfer pipe

【技术实现步骤摘要】
一种真空转动副及可柔性伸展的刚性的真空传递管路
本技术涉及一种真空转动副及可柔性伸展的刚性的真空传递管路，属于机械设备制造领域。
技术介绍
集成电路领域的印刷电路板(PrintedCircuitBoard，PCB)光刻设备，在夹紧PCB时，通常采用真空吸盘作为夹具，真空吸盘安装在可移动工作台面上，其传递真空的管路要跟随工作台运动，要求具有可伸缩性；另外，机械设备中利用真空吸附抓取物质的抓取手臂也需要传递真空的管路。目前实现真空管路的可伸缩性通常有以下几种方式，其中一种较常采用的方式即采用橡胶、塑料等材质的柔性气管制备该真空管路，但是在PCB光刻设备中，由于工作台运动的往复性，橡胶、塑料等材质的柔性气管也随之反复折弯，使得其易出现疲劳、破损等问题，且采用较软的柔性气管会在通过内部负压时，被外界大气压压扁，形变会造成软管有脱离原有位置的趋势而产生牵拉阻力，在生产过程中还容易破损，造成真空泄漏；采用较硬的柔性气管虽不会在内部负压时产生较大形变，但因为硬度大，在运动过程中会被折弯，对工作台额外阻力更大，影响平台运动精度；另外一种方式即把真空气管本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空转动副，其特征在于，所述真空转动副包括：转动副外层、转动副内层，三个通气孔；转动副内层与转动副外层中均包含真空管道；转动副内层与转动副外层能够相对转动，且二者内部所包含的真空管道相通。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空转动副，其特征在于，所述真空转动副包括：转动副外层、转动副内层，三个通气孔；转动副内层与转动副外层中均包含真空管道；转动副内层与转动副外层能够相对转动，且二者内部所包含的真空管道相通。


2.根据权利要求1所述的真空转动副，其特征在于，所述三个通气孔中其中的两个位于转动副内层上，另外一个位于转动副外层上。


3.根据权利要求2所述的真空转动副，其特征在于，所述转动副内层与转动副外层中间具有聚四氟乙烯衬套；所述转动副内层与转动副外层通过轴承实现相对转动。


4.根据权利要求3所述的真空转动副，其特征在于，所述聚四氟乙烯衬套上具有小孔。


5.一种可柔性伸展的刚性的真空传递管路，其特征在于，所述可柔性伸展的刚性的真空传递管路包括刚性真空管和权利要求1-4任一所述的真空转动副；所述刚性真空管之间通过真空转动副连接。


6.根据权利要求5...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋志尚，程珂，
申请(专利权)人：无锡影速半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32