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本实用新型涉及研磨装置用承载头及用于其的隔膜，具体提供一种研磨装置的承载头的隔膜，底板，其由挠性材质形成，用于对基板的板面加压；侧面，其由挠性材质形成，从所述底板的边缘延伸；第一固定瓣，其从所述侧面的上端部延伸，末端固定于所述承载头；第二固...
该专利属于凯斯科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过凯斯科技股份有限公司授权不得商用。

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