下载一种半导体结构和制备半导体结构的方法的技术资料

文档序号:22889713

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本发明公开了一种半导体结构和制备半导体结构的方法,解决了外延结构易龟裂、翘曲大以及位错密度大的问题。该半导体结构包括:衬底;以及设置在所述衬底上方的至少一个组成调制层;其中,每一个所述组成调制层的材料为半导体化合物,所述半导体化合物至少包括...
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