下载存储器及其制作方法的技术资料

文档序号:22886543

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本发明实施例公开了一种存储器及其制作方法,所述方法包括:在衬底的凹槽中形成外延层;在所述凹槽中形成覆盖所述外延层的保护层;在所述保护层上形成堆叠结构;其中,所述堆叠结构,用于形成所述存储器中存储单元的栅极,所述栅极用于控制所述存储单元的导通...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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