温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明实施例提供一种激光退火装置和激光退火设备。激光退火装置包括输出激光的激光装置以及将所述激光引导至退火室的光学装置，所述光学装置包括在激光传输光路上依次设置的准直机构、补偿机构和聚焦结构，所述补偿机构用于对激光的初始光斑剖面进行补偿，使...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司授权不得商用。