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公开了分离卤代硅烷的方法，其涉及使用具有将塔分成用于产生三个产物馏分的部分的隔板的蒸馏塔。还公开了使用这样的塔的通过卤代硅烷的歧化生产硅烷的方法和系统和生产多晶硅的方法。...
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