温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供尘埃等异物难以残留或附着在清洗待机中的刷子，且结构简易，基板清洗效果优异的基板清洗装置。基板清洗装置，包括：搬送辊，其用于沿搬送方向搬送液晶用基板；清洗室，其清洗由搬送辊搬入的液晶用基板；在清洗室设置有：清洗液供给部，其对液晶用基板供给...
该专利属于夏普株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过夏普株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。