下载一种釜内底部氮气控制器的技术资料

文档序号:22872077

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本发明揭示了一种釜内底部氮气控制器,氮气气源经氮气阀门连接氮气管道一端,所述氮气管道另一端连接气体分布器,所述氮气管道内设有密封环,所述密封环内壁设有圆锥台状的通孔,所述氮气管道旁通有一根密封管,所述密封管和氮气管道的连接处与密封环之间设有...
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