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光束弯折器制造技术
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文档序号:22848480
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本发明提供一种光束弯折器,能够提高由光束弯折器弯曲后的电子射线的集束性。在沿着通过光束弯折器(12)的内侧曲面(17)与外侧曲面(19)之间的电子射线的行进方向的第一剖面中,设定成内侧曲面的曲率和外侧曲面的曲率分别恒定,内侧曲面的曲率中心与...
该专利属于株式会社荏原制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。
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