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本发明的基板清洁装置包括传送基板、清洁系统及集尘系统，所述清洁系统包括位于所述传送带上方的清洁机架及位于清洁机架内的清洁喷头，该清洁喷头为旋转式喷头，使用时，该清洁喷头喷出高速的旋转静电气流，有效将基板表面的粉尘微粒扬起，然后集尘系统通过负...
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