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本发明公开了用于芯片硅生产工序中的清洗机，包括用于放置芯片硅的清洗板、固定所述清洗板的支撑架以及用于向清洗板上、下两侧喷洒清洗液的清洗机构，所述清洗板为矩形板状，且清洗板上设有两排与芯片硅形状相同的放置孔,清洗板的长度方向两侧均开设有安装孔...
该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。

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