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本实用新型提供一种基板处理装置，能够向施加浮起力而搬运的基板良好地涂敷处理液。作为基板处理装置的涂敷装置1具有：浮起工作台部(3)，向基板(W)施加浮起力；搬运机构(5)，使被施加了浮起力的基板(W)向第一方向D1移动；喷嘴(61)，朝向浮...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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