温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
该静电消除装置具备：真空室，能在内部设置带电体，且具备进行蒸镀的高真空处理部；以及等离子体发生装置，向所述真空室的内部供给由电子回旋共振产生的等离子体。所述等离子体发生装置具备：等离子体源，产生所述等离子体；以及法兰，将所述等离子体源设置于...该专利属于春日电机株式会社;国立研究开发法人宇宙航空研究开发机构所有，仅供学习研究参考，未经过春日电机株式会社;国立研究开发法人宇宙航空研究开发机构授权不得商用。