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通过激光光刻制造3D结构的方法及相应的计算机程序产品技术
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下载通过激光光刻制造3D结构的方法及相应的计算机程序产品的技术资料
文档序号:22821064
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本发明涉及一种用于通过激光光刻来制造三维整体结构(10)的方法,该整体结构(10)由至少一个部分结构(14)来近似,其中,为了写入部分结构(14),在利用多光子吸收的同时,在激光写入光束(28)的聚焦区域(26)中将曝光剂量辐射到光刻材料中...
该专利属于纳侬斯桧布有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过纳侬斯桧布有限责任公司授权不得商用。
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