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本发明涉及一种双向驱动微镜芯片及制造方法，克服现有技术中采用两层梳齿结构，只能单向驱动，使得微镜受力不对称、无法完全绕中心轴转动的问题，应用全新设计结构，拥有上中下三层梳齿结构，为微镜提供双向驱动力，使得被驱动对象的受力完全对称，获得更加优...
该专利属于苏州知芯传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州知芯传感技术有限公司授权不得商用。

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