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一种频率可调谐的高灵敏度纳米碳管量子点THz探测器制造技术
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下载一种频率可调谐的高灵敏度纳米碳管量子点THz探测器的技术资料
文档序号:22804042
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本实用新型公开了一种频率可调谐的高灵敏度纳米碳管量子点THz探测器,包括源极、漏极、沟道、N型掺杂区、栅氧化层、基底和栅极,基底采用GaInNAs异质结基底;所述栅氧化层位于基底上方,所述沟道位于栅氧化层上方,所述沟道采用纳米碳管量子点制成...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。
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