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本发明涉及半导体基板用保护膜剥离与否监视装置及方法。监视装置包括：发光装置、偏光片、相位延迟器、PCB基板、受光装置和控制部，发光装置、偏光片、相位延迟器正向依次配置，透过偏光片的光线偏光透过相位延迟器而投射到检查对象PCB基板，PCB基板...
该专利属于考姆爱斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过考姆爱斯株式会社授权不得商用。

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