温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及碳化硅晶体生产领域，具体公开了一种碳化硅长晶炉生产设备的控制方法及控制系统，方法包括：控制器获取碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；服务器通过控制器获取至少一个受所述控制器管理的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；人机操作监控平台从服务器...
该专利属于山东天岳先进材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东天岳先进材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。