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一种三维存储器及其制造方法技术
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文档序号:22724666
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本发明提供了一种三维存储器的制造方法以及通过上述制造方法制造而成的三维存储器。本发明所提供的制造方法通过先提供形成有底部堆叠结构的衬底,底部堆叠结构的底部沟道孔的侧壁形成有与衬底电性导通的底部沟道介质层,顶部填充有插塞结构。通过在底部堆叠结...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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