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本发明涉及超高纯三乙基铝的制备方法，三乙基铝原料与含有磷元素的化合物配体配合形成稳定固态配合物；配合物洗涤和过滤：在惰性气氛手套箱外，配置具有冷阱的真空系统，真空度绝对压力调至30±2KPa，接入手套箱内后与抽滤瓶相连，固态配合物缓慢倒入抽...
该专利属于江苏南大光电材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏南大光电材料股份有限公司授权不得商用。

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