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本实用新型提供一种用于CVD法制备石墨烯的反应气供应装置及CVD法制备石墨烯的冷壁炉，所述反应气供应装置包括进气管、出气装置和限流装置，所述进气管与出气装置密封连通，所述出气装置为空心的盒体，盒体表面设有多个出气孔，所述限流装置包括壳体、第...该专利属于无锡第六元素电子薄膜科技有限公司;无锡格菲电子薄膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡第六元素电子薄膜科技有限公司;无锡格菲电子薄膜科技有限公司授权不得商用。