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本发明提供一种基板保持装置、基板研磨装置、弹性构件以及基板保持装置的制造方法。基板保持装置具备：顶环主体；弹性膜，具有第一面和第二面，在第一面与顶环主体之间形成有多个区域，第二面位于与第一面相反的一侧且能保持基板；第一线路，与多个区域中的第...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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