下载一种适用于微芯片巨量转移拾取头的生产方法的技术资料

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本发明涉及一种适用于微芯片巨量转移拾取头的生产方法。该方法包括以下步骤:步骤一,利用陶瓷烧结技术,一次性烧结出柱状拾取头,拾取头的上端面上同时向下加工成型有M×N条气道;步骤二,在每条气道的下端与拾取头的下端面之间都连接有微气道;步骤三,准...
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