温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种多腔室等离子刻蚀机，包括腔室、真空装置和刻蚀装置，还包括水平传输装置，所述的水平传输装置位于所述腔室的底面，并延伸至所述腔室两侧；所述腔室的两侧面设有腔室门，所述的腔室通过隔门分隔成依次排列的进料缓冲腔、工艺腔和出料缓冲...
该专利属于晶澳(扬州)太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶澳(扬州)太阳能科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。