下载一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置的技术资料

文档序号:22636601

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本发明公开了一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置,包括输送机构,所述输送机构的上端固定连接有支撑板,所述输送机构左端的支撑板的上端固定连接有下料机构,所述输送机构右端的支撑板的上端固定连接有上料机构,所述下料机构与上料机构之间安装有烘干...
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