一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，包括输送机构，所述输送机构的上端固定连接有支撑板，所述输送机构左端的支撑板的上端固定连接有下料机构，所述输送机构右端的支撑板的上端固定连接有上料机构，所述下料机构与上料机构之间安装有烘干机构，所述输送机构的右端安装有导料机构，所述导料机构的下端固定连接有支撑柱与振动电机，所述振动电机位于支撑柱之间，所述导料机构的左端安装有定量机构，所述导料机构的右端固定连接有接料机构，所述接料机构的下端放置有净水机构。该硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，不仅实现了生产过程中的连续上下料，还能连续生产，既降低了劳动强度，也提高了生产效率。

A continuous drying device with automatic loading and unloading for silicon wafer production

The invention discloses a continuous drying device capable of automatically loading and unloading for silicon wafer production, which includes a conveying mechanism, the upper end of the conveying mechanism is fixedly connected with a support plate, the upper end of the support plate at the left end of the conveying mechanism is fixedly connected with a blanking mechanism, the upper end of the support plate at the right end of the conveying mechanism is fixedly connected with a feeding mechanism, and the blanking mechanism and the feeding mechanism are installed A drying mechanism is installed, the right end of the conveying mechanism is installed with a material guiding mechanism, the lower end of the material guiding mechanism is fixedly connected with a support column and a vibration motor, the vibration motor is located between the support columns, the left end of the material guiding mechanism is installed with a quantitative mechanism, the right end of the material guiding mechanism is fixedly connected with a material receiving mechanism, and the lower end of the material receiving mechanism is placed with a water purification mechanism. The continuous drying device with automatic loading and unloading is used in the production of silicon wafer, which not only realizes the continuous loading and unloading in the production process, but also continuously produces, which not only reduces the labor intensity, but also improves the production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置
本专利技术涉及硅片加工设备设备
，具体为一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置。
技术介绍
硅片，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，在很多领域中都有涉及。硅片的生产需要经过切割、磨边、热处理、清洗、干燥、检测等工艺，干燥过程中，需要干燥设备进行配合使用。然而，现在硅片的生产中对硅片的干燥，需要人工将硅片分散在干燥设备中进行干燥，干燥结束后，再由人工将其取出，无法自动上下料，劳动强度大，也无法连续生产，降低了硅片的干燥效率，同时干燥效果差，影响硅片下一工序的加工。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，以解决上述
技术介绍
中提出现在硅片的生产中对硅片的干燥，需要人工将硅片分散在干燥设备中进行干燥，干燥结束后，再由人工将其取出，无法自动上下料，劳动强度大，也无法连续生产，降低了硅片的干燥效率，同时干燥效果差，影响硅片下一工序的加工的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，包括输送机构(1)，其特征在于：所述输送机构(1)的上端固定连接有支撑板(2)，所述输送机构(1)左端的支撑板(2)的上端固定连接有下料机构(3)，所述输送机构(1)右端的支撑板(2)的上端固定连接有上料机构(4)，所述下料机构(3)与上料机构(4)之间安装有烘干机构(5)，所述输送机构(1)的右端安装有导料机构(6)，所述导料机构(6)的下端固定连接有支撑柱(7)与振动电机(8)，所述振动电机(8)位于支撑柱(7)之间，所述导料机构(6)的左端安装有定量机构(9)，所述导料机构(6)的右端固定连接有接料机构(10)，所述接料机构(10)的下端放置...

【技术特征摘要】
1.一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，包括输送机构(1)，其特征在于：所述输送机构(1)的上端固定连接有支撑板(2)，所述输送机构(1)左端的支撑板(2)的上端固定连接有下料机构(3)，所述输送机构(1)右端的支撑板(2)的上端固定连接有上料机构(4)，所述下料机构(3)与上料机构(4)之间安装有烘干机构(5)，所述输送机构(1)的右端安装有导料机构(6)，所述导料机构(6)的下端固定连接有支撑柱(7)与振动电机(8)，所述振动电机(8)位于支撑柱(7)之间，所述导料机构(6)的左端安装有定量机构(9)，所述导料机构(6)的右端固定连接有接料机构(10)，所述接料机构(10)的下端放置有净水机构(11)。


2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述输送机构(1)包括机架(12)，所述机架(12)的左上端转动连接有主动轴(13)，所述机架(12)的右上端转动连接有从动轴(14)，所述主动轴(13)与从动轴(14)通过输送带(15)传动连接，且输送带(15)采用网状结构设计，所述输送带(15)的外侧等间距固定连接有六个防护条(16)，所述机架(12)的左下端固定连接有驱动电机(17)，所述驱动电机(17)与主动轴(13)的一端通过皮带(18)传动连接。


3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述支撑板(2)关于输送机构(1)的竖直中心线对称设置有两个，且支撑板(2)采用倒立的半包围结构设计。


4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述下料机构(3)包括下料电机(31)，所述下料电机(31)的上端传动连接有左连接杆(32)的一端，所述左连接杆(32)的另一端固定连接有左安装板(33)，所述左安装板(33)的上端固定连接有下料气缸(34)，所述下料气缸(34)的活动端穿过左安装板(33)固定连接有左分流管(35)，所述左分流管(35)的下端等间距固定连接有五个下料吸盘(36)，所述左分流管(35)的右端固定连接有下料管(37)的一端，所述下料管(37)的另一端与下料风机(38)相互接通。


5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述上料机构(4)包括上料电机(41)，所述上料电机(41)的上端传动连接有右连接杆(42)的一端，所述右连接杆(42)的另一端固定连接有右安装板(43)，所述右安装板(43)的上端固定连接有上料气缸(44)，所述上料气缸(44)的活动端穿过右安装板(43)固定连接有右分流管(45)，所述右分...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉庆，胡苏安，
申请(专利权)人：马鞍山致青工业设计有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34