温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及集成电路生产技术领域，公开一种FAB生产厂房。FAB生产厂房，包括从上至下依次设置的洁净生产层、洁净下夹层和下技术夹层，其中，所述下技术夹层中增设有第一洁净生产区。增设的该第一洁净生产区位于洁净下夹层的下方，形成上下双层洁净室。在...该专利属于世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司授权不得商用。