温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种稀土永磁体表面快速真空镀铝方法，将磁体基件放置在管状溅射源中部的溅射腔内，所述溅射腔内壁具有铝靶材层；将所述溅射腔进行抽真空，然后通入工艺气体到预设压强值；对管状溅射源加负压并对磁体基件加正压进行溅射镀膜，同时驱动磁体基件旋...
该专利属于合肥赉晟科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥赉晟科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。