下载一种具有保护机构的硅片加工用双工序精雕机的技术资料

文档序号:22605776

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本实用新型公开了一种具有保护机构的硅片加工用双工序精雕机,包括底座和精雕机,所述底座的前表面中心处内部开设有放置槽,所述底座的顶部中心处焊接有工作台,所述工作台的底部中心处螺栓固定有伺服电机,所述夹盘的外部螺栓固定有XTL‑100电动伸缩杆...
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