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本发明涉及电子元器件技术领域的一种具有氧化层的LIGBT型ESD保护器件,包括位于底部的衬底层和及埋氧层,埋氧层的上方覆盖有漂移区,漂移区的上方分别覆盖有buffer层和body区,漂移区的上方且位于buffer层的右侧设有氧化层,buff...该专利属于广东瑞森半导体科技有限公司;南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东瑞森半导体科技有限公司;南京邮电大学授权不得商用。
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本发明涉及电子元器件技术领域的一种具有氧化层的LIGBT型ESD保护器件,包括位于底部的衬底层和及埋氧层,埋氧层的上方覆盖有漂移区,漂移区的上方分别覆盖有buffer层和body区,漂移区的上方且位于buffer层的右侧设有氧化层,buff...