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清洁设备包括气体供应线路和清洁液体供应线路。喷嘴连接到气体供应线路和清洁液体供应线路。喷嘴将清洁液体施加到基板上。位于喷嘴的主体的顶部处的气体注入口连接到气体供应线路。第一清洁液体注入口设置在喷嘴主体的侧壁上并连接到清洁液体供应线路。流体排...
该专利属于三星电子株式会社;首尔大学校产学协力团所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社;首尔大学校产学协力团授权不得商用。

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