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本发明涉及湿度传感器技术领域，尤其涉及一种基于“拱形”结构的电容式湿度传感器及其制备方法和应用。所述湿度传感器包括：顶部电极、底部电极，其均为“拱形”结构；介质层，所述顶部电极、底部电极上均设置有阵列式纳米锥结构的介质层，且锥尖背向其所在电...
该专利属于济南大学所有，仅供学习研究参考，未经过济南大学授权不得商用。

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