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本发明公开了一种基于两步法的超精密圆度测量方法及装置。为了实施基于两步法的圆度测量，首先根据位移传感器的谐波不确定度及不确定度的传播规律，预测出不同测量角度下圆度测量结果的不确定度，并找出两步法的最优测量角度；其次，操作圆度测量装置，分别在...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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