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一种水热腐蚀去除冶金级硅中杂质P的方法技术
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文档序号:22589840
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本发明公开了一种水热腐蚀去除冶金级硅中杂质P的方法。按下述步骤进行:a)硅块的破碎:将硅块制成100~500目的硅粉;b)硅粉预处理:依次用盐酸、双氧水、氢氟酸、甲醇、纯水对硅粉清洗并放入鼓风干燥箱干燥;c)硅粉的腐蚀:将预处理的硅粉用腐蚀...
该专利属于贵州大学所有,仅供学习研究参考,未经过贵州大学授权不得商用。
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