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本发明公开了一种惰性气体高温纯化系统,采用物理吸附、化学吸附和催化氧化等工序联用的惰性气体纯化工艺。纯化系统包含气源供气装置、分子筛脱水装置、滤芯为PTFE材质固体颗粒过滤装置、滤芯材料为YBCO的脱氧装置、滤芯为贵金属的高温过滤装置、冷却...该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。
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本发明公开了一种惰性气体高温纯化系统,采用物理吸附、化学吸附和催化氧化等工序联用的惰性气体纯化工艺。纯化系统包含气源供气装置、分子筛脱水装置、滤芯为PTFE材质固体颗粒过滤装置、滤芯材料为YBCO的脱氧装置、滤芯为贵金属的高温过滤装置、冷却...