一种惰性气体高温纯化系统技术方案

本发明专利技术公开了一种惰性气体高温纯化系统，采用物理吸附、化学吸附和催化氧化等工序联用的惰性气体纯化工艺。纯化系统包含气源供气装置、分子筛脱水装置、滤芯为PTFE材质固体颗粒过滤装置、滤芯材料为YBCO的脱氧装置、滤芯为贵金属的高温过滤装置、冷却装置和气体含量在线检测设备等其他相关部件。该操作方法包括以下几个阶段：①加热炉升温阶段；②抽真空及降温阶段；③过滤及冷却阶段；④实时监测阶段。本发明专利技术优点在于，系统可靠、性价比高、易操作，纯化后的气体纯度高。满足电子工业产业、气氛热处理等对超高纯化惰性气体的需求。

An inert gas high temperature purification system

The invention discloses an inert gas high temperature purification system, which adopts the inert gas purification process of physical adsorption, chemical adsorption, catalytic oxidation and other processes. The purification system includes air supply unit, molecular sieve dehydration unit, solid particle filter unit with PTFE material as filter element, deoxidation unit with YBCO material as filter element, high temperature filter unit with precious metal as filter element, cooling unit, online gas content detection equipment and other relevant components. The operation method includes the following stages: \u2460 heating furnace stage; \u2461 vacuumizing and cooling stage; \u2462 filtering and cooling stage; \u2463 real-time monitoring stage. The invention has the advantages of reliable system, high cost performance, easy operation and high purity of purified gas. To meet the needs of electronic industry, atmosphere heat treatment and other industries for ultra-high purification of inert gas.

【技术实现步骤摘要】
一种惰性气体高温纯化系统
本专利技术涉及惰性气体纯化
，尤其涉及一种惰性气体高温纯化系统，纯化后惰性气体中氧含量、水含量、碳氢含量在线监测方法以及杂质气体含量超标控制技术，纯化后的气体纯度可达8N以上。
技术介绍
高纯惰性气体是目前电子工业产业、气氛热处理、医疗领域等不可或缺的支撑性原材料。惰性气体常见有氩气、氦气和氖气等，通常由液态直接气化后的惰性气体纯度只能达到5N，满足不了超高纯度气体要求。以Nb3Sn超导线圈热处理为例，避免热处理期间超导线氧化及污染是Nb3Sn超导线圈热处理的关键技术要求。若线圈内部超导线氧化将引起超导磁体性能退化甚至不超导。为了避免线圈内超导线热处理氧化目前最主要的方法就是内部通入惰性保护气体如氩气。保护气体在线圈内流动一方面可以置换线圈中的预留空气，另一方面可以带走超导线材在热处理过程中会产生O2、H2O和有机物等杂质。
技术实现思路
本专利技术目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种惰性气体高温纯化系统。本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种惰性气体高温纯化系统，包括有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种惰性气体高温纯化系统，其特征在于：包括有惰性气体供气装置、脱水装置、固体颗粒过滤器一、脱氧装置、高温气体纯化器、冷却装置、固体颗粒过滤器二、气体含量在线检测设备和高纯气体收集容器，所述的惰性气体供气装置的出气端通过管道连接脱水装置的进气端，脱水装置的出气端通过管道连接固体颗粒过滤器一的进气端，固体颗粒过滤器一的出气端通过管道连接脱氧装置的进气端，脱氧装置的出气端通过管道连接高温气体纯化器的进气端，高温气体纯化器的出气端通过管道连接冷却装置的进气端，冷却装置的出气端通过管道连接固体颗粒过滤器二的进气端，固体颗粒过滤器二的出气端通过管道分别与气体含量在线检测设备和高温气体纯化器连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种惰性气体高温纯化系统，其特征在于：包括有惰性气体供气装置、脱水装置、固体颗粒过滤器一、脱氧装置、高温气体纯化器、冷却装置、固体颗粒过滤器二、气体含量在线检测设备和高纯气体收集容器，所述的惰性气体供气装置的出气端通过管道连接脱水装置的进气端，脱水装置的出气端通过管道连接固体颗粒过滤器一的进气端，固体颗粒过滤器一的出气端通过管道连接脱氧装置的进气端，脱氧装置的出气端通过管道连接高温气体纯化器的进气端，高温气体纯化器的出气端通过管道连接冷却装置的进气端，冷却装置的出气端通过管道连接固体颗粒过滤器二的进气端，固体颗粒过滤器二的出气端通过管道分别与气体含量在线检测设备和高温气体纯化器连接。


2.根据权利要求1所述的一种惰性气体高温纯化系统，其特征在于：所述的气体含量在线检测设备包括有微量氧分析仪、露点分析仪和碳氢分析仪。


3.根据权利要求2所述的一种惰性气体高温纯化系统，其特征在于：在所述的惰性气体供气装置与脱水装置之间的管道上安装有减压器一；在脱水装置与固体颗粒过滤器一之间的管道上安装有减压器二；在固体颗粒过滤器一与脱氧装置之间的管道上安装有截止阀一，在脱氧装置与高温气体纯化器之间的管道上依次安装有截止阀二和减压器三；在高温气体纯化器与冷却装置之间的管道上安装有截止阀三；在冷却装置与固体颗粒过滤器二之间的管道上安装有减压器四；在固体颗粒过滤器二与微量氧分析仪、露点分析仪、碳氢分析仪、高纯气体收集容器之间的管道上分别安装有截止阀四、截止阀五、截止阀六和截止阀七。


4.根据权利要求1所述的一种惰性气体高温纯化系统，其特征在于：所述的脱水装置的滤芯采用分子筛。


5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：于敏，王维俊，秦经刚，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：安徽;34