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本实用新型公开了一种微纳米刻划硬脆性材料试验装置；包括用于固定试验样品的试件夹具；用于固定试件夹具的作业平台；用于搭载刻划刀具在XYZ方向移动的XYZ轴移动机构；整个刻划试验装置放置于气浮平台上，调节平台下方有可以准确调节高度的调平螺栓。通...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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