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本发明提供一种固化后的固化膜的翘曲小，并且图案形成时的光刻性优异的感光性树脂组合物、以及固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。该感光性树脂组合物包含：聚酰亚胺前体，包含包括联苯结构的重复单元；及光聚合引发剂，具有通过照射光而能够产生...
该专利属于富士胶片株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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