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一种压电陶瓷传感器及其制备方法技术
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下载一种压电陶瓷传感器及其制备方法的技术资料
文档序号:22567170
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本发明公开了一种压电陶瓷传感器及其制备方法,所述传感器包括上柔性薄膜基底和下柔性薄膜基底,所述上柔性薄膜基底和所述下柔性薄膜基底之间依次设置有第一导电层、压电层和第二导电层,所述压电层包括若干间隔排列的压电陶瓷,所述压电陶瓷的2个电极分别与...
该专利属于深圳航天科技创新研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳航天科技创新研究院授权不得商用。
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