The invention discloses a piezoelectric ceramic sensor and a preparation method thereof. The sensor comprises an upper flexible film substrate and a lower flexible film substrate. The first conductive layer, a piezoelectric layer and a second conductive layer are successively arranged between the upper flexible film substrate and the lower flexible film substrate. The piezoelectric layer comprises a number of piezoelectric ceramics arranged at intervals, and two electrodes of the piezoelectric ceramics The first conductive layer and the second conductive layer are electrically kept in contact with each other. The piezoelectric sensor prepared in the invention adopts the piezoelectric ceramic material, which has good thermal stability, puncture resistance and high piezoelectric efficiency compared with the flexible material PVDF. At the same time, the preparation process of the invention directly uses the polarized piezoelectric ceramics for cutting, and uses the material loss in the cutting process to realize the interval arrangement of ceramic sheets, the process is simple and controllable, the yield rate is high, and the large-scale production can be realized.
【技术实现步骤摘要】
一种压电陶瓷传感器及其制备方法
本专利技术涉及压电传感器领域,尤其是涉及一种压电陶瓷传感器及其制备方法。
技术介绍
某些电解质在沿一定方向上受到外力的作用变形时,其内部会产生极化现象,同时在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。当外力去掉后,它又会恢复到不带电的状态,这种现象称为正压电效应,能够产生压电效应的材料称为压电材料。压电传感器即是利用这种压电效应,实现了机械能和电能之间的功能转换。利用压电材料制备的压电传感器具有结构简单,稳定性高成本低,响应快,频响范围宽,灵敏度大,动态范围大等优点。随着电子工业的发展,压电传感器被广泛应用于声学、力学、医疗及宇航等相关领域中。压电材料会有压电效应是因为晶格内原子间特殊的排列方式,可分为压电单晶体、压电多晶体(压电陶瓷)、压电聚合物(PVDF)和压电复合材料四种。压电陶瓷具有较高的机电耦合系数,压电常数较大,传感灵敏度较高,性能稳定,然而,压电陶瓷材料本身不带有柔性,无法在曲面环形中使用。有机压电材料PVDF是同时兼备柔性及压电特性的材料,但是该材料热稳定性差,不耐穿刺,且压电常数较陶瓷材料低。现有技术中,制备出具有一定可弯曲性的压电器件,工艺复杂、成品率低。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关记述中的技术问题之一。为此,本专利技术的一个目的是提供一种结构简单、可弯曲的、可靠性高的压电陶瓷传感器。为此,本专利技术的第二个目的是提供一种工艺简单、成品率高的压电陶瓷传感器制备方法。本专利技术所采用的技 ...
【技术保护点】
1.一种压电陶瓷传感器,其特征在于:包括上柔性薄膜基底和下柔性薄膜基底,所述上柔性薄膜基底和所述下柔性薄膜基底之间依次设置有第一导电层、压电层和第二导电层,所述压电层包括若干间隔排列的压电陶瓷,所述若干压电陶瓷之间通过粘性材料固定于所述第一导电层和所述第二导电层之间,所述压电陶瓷的2个电极分别与所述第一导电层、所述第二导电层电性连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种压电陶瓷传感器,其特征在于:包括上柔性薄膜基底和下柔性薄膜基底,所述上柔性薄膜基底和所述下柔性薄膜基底之间依次设置有第一导电层、压电层和第二导电层,所述压电层包括若干间隔排列的压电陶瓷,所述若干压电陶瓷之间通过粘性材料固定于所述第一导电层和所述第二导电层之间,所述压电陶瓷的2个电极分别与所述第一导电层、所述第二导电层电性连接。
2.根据权利要求1所述的压电陶瓷传感器,其特征在于:所述第一导电层和所述第二导电层均包括至少一个导电电极和将所述导电电极连接和/或引出的电路,所述压电陶瓷的两端电极分别与所述第一导电层的至少一个导电电极电性连接、所述第二导电层的至少一个导电电极电性连接,所述导电电极连接和/或引出的所述电路表面覆盖绝缘保护层。
3.根据权利要求2所述的压电陶瓷传感器,其特征在于:所述第一导电层上的导电电极之间和所述第二导电层上的导电电极之间相互串和/或并联和/或分别引出作为传感器的连接和/或测试和/或输出端口。
4.根据权利要求2所述的压电陶瓷传感器,其特征在于:所述导电电极和将所述导电电极连接和/或引出的电路的材料为下列材料中的至少一种:导电金属、合金、聚合物。
5.根据权利要求1至4任一项所述的压电陶瓷传感器,...
【专利技术属性】
技术研发人员:丁小恒,李明愚,孙思雨,晏义伍,丁莉,
申请(专利权)人:深圳航天科技创新研究院,
类型:发明
国别省市:广东;44
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