下载一种H-3碳化硅PN型同位素电池及其制造方法的技术资料

文档序号:22566839

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本发明公开了一种H‑3碳化硅PN型同位素电池及其制造方法,该同位素电池的结构自下而上包括N型欧姆接触电极,N型高掺杂SiC衬底,N型SiC外延层,P型SiC外延层,在P型SiC外延层上部的部分区域设有P型SiC欧姆接触掺杂层,在P型SiC欧...
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